晶圆退火炉/半导体真空退火炉 AOL-100GV-HMI
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晶圆退火炉/半导体真空退火炉 AOL-100GV-HMI
工作尺寸(mm): W610×H650×D750
外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250
功率:14KW
性能特点:
◆ 智能控制系统,PLC程序控制，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理；
◆ 箱体周身做密闭氩弧焊接， 耐高温硅胶迫紧；
◆ 特殊结构设计，含氧量：＜20PPM；
◆ 氧含量分析仪，可实时监测氧含量；
◆ 安装氮气控制装置，箱体可以接入氮气，N2数字流量器，可实时监控氮气流量；
◆ SUS310＃不锈钢无尘化电热产生器，防机台本身产生微尘；
◆ 无尘等级：Class 100
◆ 真空度：＜133Pa
技术参数：
1． 送风方式：强制送风循环。
2． 温度范围：+60～620℃。
3． 温度波动：<±0.5℃。
4． 温度均匀：200℃±3℃;350℃±4℃;600℃±7.5℃(空箱测试)
5. 升温速度：常温～600℃，升温速率0～8℃/min以内
6. 降温速度：500～360℃，1～2℃/min,360～200℃,5～1℃/min,200～125℃,3～1℃/min,125～
80℃,1～0.5℃/min，水冷+风冷降温。
7． 控温方式：讯号来源，采用K型 铂电阻 感应棒±0.5%。
温控装置：欧姆龙PLC + 10寸工控电脑。
PC 内部记录数据，使用 Excel 等常用软件可以读取，最短数据记录间隔5S
历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)
系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位
温控输出：SSR输出
8. 氮气控制装置：氮气流量计，N2数字流量器，可实时监控氮气流量。
9. 箱体材料：外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤。
10．内室材料：采用 2.0mm厚度SUS310优质不锈钢钢板，周身做密闭氩弧焊接
11．保温材料：120K级高密度硅酸铝纤维；
12．电加热器：覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状（不锈钢SUS310#）电热发生器。
13．保护装置：漏电断路器，超温保护，开门氮气自动中断保护，马达过载电流保护，N2流量动态监
控，排风口压力报警，工作期间门自动锁闭
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