无氧烘箱 12寸晶圆烘箱 MES无氧箱
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一．概述：
无氧化烘箱，在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途：IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板……
二．产品技术参数
1.名称及型号：无氧烘箱/烤箱/烘烤箱 QMO-500
2、主要技术指标：
2.1含氧量：< 20ppm，50ppm，100ppm,含氧量： <=5000ppm;
2.2温度范围： RT（室温）+60～ +250℃；
2.3温度均匀度：±1.5%;
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6烘箱搁板为活动形式。
2.7工作尺寸：W800×H800×D800
2.8电源：380V 3φ 50HZ 8Kw
3、箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘
烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊
密封加工(防污染)。
3.6保温材料：硅酸铝棉；
3.7夹层降温：水冷降温.(从250度降到60度预计50分钟内）
4、先进可靠的测控系统
4.1温控装置：智能控制系统,日本优易控
10〃TFT真彩触摸薄屏
程式编辑：可预编120个程式，每个程式最大可编99段，共1200段
历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)
温度、含氧量曲线可同时显示
4.2温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器
4.3含氧量分析仪：配国产含氧量分析仪（上海英盛ZO-802）。
4.4氮气系统：Ｎ２流量计控制进气量；入气口:10mm；排气口：φ100，位于箱体顶部，排气可设定时间段。
5、完善的安全保护措施：漏电断路器//超温保护//欠相保护//马达过载电流保护//机台异常蜂鸣器警示
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